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科技导报  2019, Vol. 37 Issue (3): 62-65    DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2019.03.009
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半导体存储器技术
刘明
中国科学院微电子研究所, 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室, 北京 100029
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