抗过载片上集成MEMS悬浮螺旋电感

doi:10.3981/j.issn.1000-7857.2015.05.008

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科技导报 ›› 2015, Vol. 33 ›› Issue (5) : 57-61. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2015.05.008

研究论文

抗过载片上集成MEMS悬浮螺旋电感

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Anti-overloading on-chip integrated MEMS suspended spiral inductor

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