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2013, Vol. 31(17): 25-28    DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2013.17.003
基于SVD的MEMS微结构位移测量新算法
胡章芳, 计超, 罗元
重庆邮电大学光电工程学院,重庆 400065
收稿日期 2012-05-07  修回日期 2013-04-10
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国家自然科学基金项目(51075420)
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