2011, Vol. 29(19): 29-33    DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2011.19.003
半导体制造用碳化硅粉体偶联剂表面改性
铁生年, 李星
青海大学非金属材料研究所,西宁 810016
收稿日期 2010-09-06  修回日期 2011-05-26
Supporting info
青海省外经贸区域协调发展促进资金项目(2009-2160604)