一种CMOS集成MEMS片上螺旋电感设计与仿真

卢冲赢;徐立新;王婷

doi:10.3981/j.issn.1000-7857.2012.06.001

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科技导报 ›› 2012, Vol. 30 ›› Issue (6) : 20-23. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2012.06.001

研究论文

一种CMOS集成MEMS片上螺旋电感设计与仿真

{{article.zuoZhe_CN}}

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Design and Simulation of a CMOS Integrated MEMS On-chip Spiral Inductor

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2012, 30(6): 20-23 https://doi.org/10.3981/j.issn.1000-7857.2012.06.001

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2012, 30(6): 20-23 https://doi.org/10.3981/j.issn.1000-7857.2012.06.001

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