基于SVD的MEMS微结构位移测量新算法

胡章芳;计超;罗元

科技导报 ›› 2013, Vol. 31 ›› Issue (17) : 25-28.

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科技导报 ›› 2013, Vol. 31 ›› Issue (17) : 25-28. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2013.17.003
研究论文

基于SVD的MEMS微结构位移测量新算法

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A New Algorithm for MEMS Microstructure Amplitude Measurements Based on Singular Value Decomposition

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