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科技导报  2015, Vol. 33 Issue (9): 31-34    DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2015.09.004
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高环境稳定性多孔氧化硅减反膜的制备及表征
孙菁华1,2, 丁瑞敏1, 张聪1,2, 张策1,2, 徐耀1
1. 中国科学院山西煤炭化学研究所炭材料重点实验室, 太原030001;
2. 中国科学院大学, 北京100049
Preparation and characterization of porous silica antireflective coating of high environment stability
SUN Jinghua1,2, DING Ruimin1, ZHANG Cong1,2, ZHANG Ce1,2, XU Yao1
1. Key Laboratory of Carbon Materials, Institute of Coal Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Taiyuan 030001, China;
2. University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
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