单靶溅射法制备CIS薄膜

吴兆; 洪瑞江

doi:10.3981/j.issn.1000-7857.2016.2.005

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科技导报 ›› 2016, Vol. 34 ›› Issue (2) : 43-45. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2016.2.005

专题论文

单靶溅射法制备CIS薄膜

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Fabrication of CIS thin film by sputtering one ternary target

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