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科技导报  2021, Vol. 39 Issue (9): 61-65    DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2021.09.007
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辅助离子束对孪生磁场中频反应溅射等离子体特性的影响
望咏林, 伍建华, 刘宏燕, 颜悦
中国航发北京航空材料研究院透明件研究所, 北京 100095
Influence of ion beam assistance on plasma of twin magnetron MF reactive sputtering
WANG Yonglin, WU Jianhua, LIU Hongyan, YAN Yue
Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing 100095, China
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