扬帆芯未来，助力新基建，大力推进第三代半导体制造装备国产化

王志越; 巩小亮; 付丙磊

doi:10.3981/j.issn.1000-7857.2021.14.008

PDF(2816 KB)

科技导报 ›› 2021, Vol. 39 ›› Issue (14) : 83-91. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2021.14.008

专题：第三代半导体的创新发展

扬帆芯未来，助力新基建，大力推进第三代半导体制造装备国产化

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 -

作者简介:

通信作者:

Promote the domestication of the third-generation semiconductor equipment to embrace the dawn of semiconductors and consolidate the new infrastructure

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information -

Corresponding authors:

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2021, 39(14): 83-91 https://doi.org/10.3981/j.issn.1000-7857.2021.14.008

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2021, 39(14): 83-91 https://doi.org/10.3981/j.issn.1000-7857.2021.14.008

中图分类号：

参考文献

列表( 原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序 ) 可视化分析

参考文献

基金

版权

PDF(2816 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容