用醋清洗芯片可大大减少污染

刘先曙

科技导报 ›› 2001, Vol. 19 ›› Issue (019) : 5-5.

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用醋清洗芯片可大大减少污染

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据英《新科学家》2001年2月24日报道 :芯片是现代电子产品的心脏 ,但在任何地方生产芯片都会对环境造成一定污染 ,因为制造厂在最后都要用数以千升的酸清除掉硅芯片上的化合物涂层 ,然后再用几百万吨水漂洗掉醋酸。现在新墨西哥洛斯阿拉莫斯国家实验室找到了一种用醋清洗硅片的方法 ,可以减少对环境的污染。方法是将硅片放入一个装有醋和二氧化碳的压力容器内 ,然后加温加压使醋和二氧化碳变成所谓的临界流体。

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刘先曙. 用醋清洗芯片可大大减少污染[J]. 科技导报, 2001, 19(019): 5-5
中图分类号: X781   
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