微/纳机电系统中的毛细黏附作用

朱豫晋;梁新建;金 磊

科技导报 ›› 2009, Vol. 27 ›› Issue (0902) : 99-101.

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微/纳机电系统中的毛细黏附作用

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Capilary Stiction Action in the MEMS/NEMS

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