高环境稳定性多孔氧化硅减反膜的制备及表征

孙菁华, 丁瑞敏, 张聪, 张策, 徐耀

科技导报 ›› 2015, Vol. 33 ›› Issue (9) : 31-34.

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科技导报 ›› 2015, Vol. 33 ›› Issue (9) : 31-34. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2015.09.004
研究论文

高环境稳定性多孔氧化硅减反膜的制备及表征

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Preparation and characterization of porous silica antireflective coating of high environment stability

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