辅助离子束对孪生磁场中频反应溅射等离子体特性的影响

望咏林, 伍建华, 刘宏燕, 颜悦

科技导报 ›› 2021, Vol. 39 ›› Issue (9) : 61-65.

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科技导报 ›› 2021, Vol. 39 ›› Issue (9) : 61-65. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2021.09.007
专题：飞机材料及制造技术

辅助离子束对孪生磁场中频反应溅射等离子体特性的影响

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Influence of ion beam assistance on plasma of twin magnetron MF reactive sputtering

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