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  2010, Vol. 28 Issue (20): 91-96    DOI:
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微等离子体喷枪及其应用
韩传余1,吴 瑜2,王守国1
1. 中国科学院微电子研究所;中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京 1000292. 武汉科技学院理学院,武汉 430073
Microplasma Jets and Applications
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