随着微电子技术的发展，特别是近年来以微型机电系统（ＭＥＭＳ）和微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）为代表的微米纳米技术的发展，使得微型卫星、纳型卫星甚至皮型卫星的实现成为可能。 ８０年代以来，Ｄｒａｐｅｒ实验室（美）、ＪＰＬ（美）、ＬＩＴ－ＴＯＮ公司（美）、ＬＩＴＥＦ公司（德）、ＳＡＧＥＭ公司（法）、ＡＤ公司（美）、Ｖｅｃｔｏｒ公司（俄）等相继开展微硅陀螺、微硅加速度计等微型惯性仪表的研究，形成产品，进而进行微型惯性测量组合的研究。