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  2012, Vol. 30 Issue (6): 20-23    DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2012.06.001
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一种CMOS集成MEMS片上螺旋电感设计与仿真
卢冲赢, 徐立新, 王婷
北京理工大学机电工程与控制国防科技重点实验室,北京 100081
Design and Simulation of a CMOS Integrated MEMS On-chip Spiral Inductor
LU Chongying, XU Lixin, WANG Ting
National Defense Science and Technology Key Laboratory for Mechatronical Engineering and Control, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China
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