电子束光刻设备发展现状及展望

电子束光刻设备发展现状及展望

梁惠康, 段辉高

Electron beam lithography system: Progress and outlook

LIANG Huikang, DUAN Huigao

科技导报 . 2022, (11): 33 -44 . DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2022.11.004