声表面行波器件及其在微纳领域的应用

董惠娟, 王敬轩, 李天龙

科技导报 ›› 2019, Vol. 37 ›› Issue (6) : 114-128.

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科技导报 ›› 2019, Vol. 37 ›› Issue (6) : 114-128. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2019.06.015
研究论文

声表面行波器件及其在微纳领域的应用

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Device of travelling surface acoustic wave and its application in the field of micro-nano scales

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