上海第三代同步辐射装置及其在微电子、微机械中的应用

谢常青;叶甜春

科技导报 ›› 1999, Vol. 17 ›› Issue (996) : 36-38.

PDF(571 KB)
PDF(571 KB)
科技导报 ›› 1999, Vol. 17 ›› Issue (996) : 36-38.
高技术

上海第三代同步辐射装置及其在微电子、微机械中的应用

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 -
作者简介:
通信作者:

Shanghai Third Generation Synchrotron Radiation Facility and Its Application in Microelectronics and Micromachine

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
Author information -
Corresponding authors:
文章历史 +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 1999, 17(996): 36-38
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 1999, 17(996): 36-38
中图分类号：

参考文献

列表( 原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序 ) 可视化分析

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
PDF(571 KB)

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章

联系我们

  • 地址：北京市海淀区学院南路86号科技导报社　邮编：100081
  • 电话：010-62138113　传真：010-62138113
  • E-mail：kjdbbjb@cast.org.cn

    • 访问统计

      总访问量
      今日访问
      在线人数
    科技导报官方微信公众号
    京ICP备14028469号-1　
    本网站由科技导报社主办　
    版权所有 © 《科技导报》编辑部

    /

    〈 〉