上海第三代同步辐射装置及其在微电子、微机械中的应用

谢常青;叶甜春

科技导报 ›› 1999, Vol. 17 ›› Issue (996) : 36-38.

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科技导报 ›› 1999, Vol. 17 ›› Issue (996) : 36-38.
高技术

上海第三代同步辐射装置及其在微电子、微机械中的应用

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Shanghai Third Generation Synchrotron Radiation Facility and Its Application in Microelectronics and Micromachine

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