腔室长时间使用造成的工艺漂移对微晶硅薄膜性质的影响
张 鹤;戴志华;张晓丹;魏长春;孙 建;耿新华;赵 颖
科技导报 ›› 2009, Vol. 27 ›› Issue (0920) : 19-21.
腔室长时间使用造成的工艺漂移对微晶硅薄膜性质的影响
Effects of Drift Due to Chamber's Long-time Usage on Microcrystalline Silicon Properties
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