科技导报 >
2019 , Vol. 37 >Issue 3: 77 - 81
DOI: https://doi.org/10.3981/j.issn.1000-7857.2019.03.012
集成电路器件工艺先导技术研究进展
网络出版日期: 2019-02-27
关键词： 鳍式场效应晶体管; CMOS; 集成电路器件工艺
叶甜春 . 集成电路器件工艺先导技术研究进展[J]. 科技导报, 2019 , 37(3) : 77 -81 . DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2019.03.012
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