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辅助离子束对孪生磁场中频反应溅射等离子体特性的影响
望咏林, 伍建华, 刘宏燕, 颜悦
Influence of ion beam assistance on plasma of twin magnetron MF reactive sputtering
WANG Yonglin, WU Jianhua, LIU Hongyan, YAN Yue
科技导报 . 2021, (
9
): 61 -65 . DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2021.09.007