双光束超分辨光刻技术的发展和未来

双光束超分辨光刻技术的发展和未来

谢大乐, 艾星星, 甘棕松

Development and future of dual-beam super-resolution lithographic technology

XIE Dale, AI Xingxing, GAN Zongsong

科技导报 . 2024, (8): 21 -28 . DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2023.06.00884